Katedra Mikrosystemów powstała 2020 roku z połączenia dwóch Zakładów Wydziałowych, Zakładu Mikroinżynierii i Fotowoltaiki oraz Zakładu Technik Elektronicznych i Fotonicznych wchodzących w strukturę Wydziału Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej.

Aktywność naukowa Katedry koncentruje się wokół:

• mikrosystemów ceramicznych, krzemowych, szklanych i polimerowych typu MEMS i MOEMS,
• mikrosystemów i urządzeń mikromechatronicznych drukowanych,
• systemów wieloparametrycznych wykorzystujących zintegrowane czujniki elektroniczne,
• miniaturowych urządzeń medycznych i biomedycznych wykorzystujących techniki nano- i mikroinżynieryjne oraz badań tych urządzeń,
• nano- i mikroelektroniki próżniowej, rozwoju technologii nano- i mikronżynierii ciała stałego,
• autonomicznych systemów fotowoltaicznych i ich wykorzystania w zeroenergetycznych urządzeniach technicznych, w tym sportowo-rekreacyjnych oraz długoterminowych badań urządzeń technicznych wykorzystujących, tzw. zieloną energię,
• mikroelektronicznych technologii grubowarstwowych i ceramicznych technologii współwypalanych,
• syntezy materiałów (w tym nanomateriałów) na potrzeby czujników chemicznych oraz badania czujników chemicznych,
• projektowania, pomiarów i analizy właściwości przyrządów fotoniki włóknistej i planarnej oraz projektowania sieci światłowodowych,
• numeryczne projektowanie niezawodnych systemów elektronicznych,
• opracowywanie nowych materiałów kompozytowych z cząstkami o rozmiarach mikro- i nanometrowych oraz technologii montażu do efektywnego odprowadzania ciepła i tworzenia połączeń elektrycznych.