Instytucja Finansująca: Projekt współfinansowany przez Unię Europejską ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego w ramach Programu Operacyjnego Inteligentny Rozwój 2014- 2020. Projekt realizowany w ramach konkursu Narodowego Centrum Badań i Rozwoju: Szybka ścieżka 1/4.4/2020 — Projekty aplikacyjne

Lider Konsorcjum: Nanores Sp. z o.o. Sp. k.

Kierownik Projektu na PWr: prof. dr hab. inż. Robert Kudrawiec

Kierownik (Katedra Mikrosystemów): prof. dr hab. inż. Karol Malecha

Okres realizacji: 1 października 2020—31 grudnia 2023

Całkowita wartość projektu: 15 818 977,79 zł
Kwota dofinansowania: 12 730 569,61 zł
Kwota dofinansowania dla Politechniki Wrocławskiej: 2 769 537,35 zł (kwota: 1 131 942 zł dla Wydziału W12N)

Przedmiotem projektu było opracowanie i przygotowanie do wdrożenia dwóch innowacyjnych produktów – miniaturowego czujnika wysokiego ciśnienia oraz czujnika wysokiej próżni — wraz z technologią ich produkcji.

Firma Nanores we współpracy z Politechniką Wrocławską opracowała rozwiązania, które ze względu na swój rozmiar umożliwiają umieszczenie w komorach wysokociśnieniowych i próżniowych większej ilości czujników, dając tym samym możliwość pomiaru niejednorodności ciśnienia w komorze. Ponadto miniaturyzacja sensorów umożliwia integrację rozwiązania z mikrokomorami, co nie było dotychczas możliwe z wykorzystaniem komercyjnie dostępnych rozwiązań. Opracowane w ramach projektu czujniki charakteryzowały się wysoką trwałością i szerokim zakresem pomiarowym. Dzięki tym cechom opracowana innowacja będzie mogła znaleźć zastosowanie w różnych aplikacjach i warunkach, również specyficznych i wymagających jak np. pomiary w kowadłach diamentowych lub w przemyśle kosmicznym jako detektor mikroprzecieków w śluzach pojazdów załogowych. Czujniki zostały opracowane i wykonane z wykorzystaniem technologii LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics) oraz FIB (Focused Ion Beam).

Projekt był sfinansowany przez Narodowe Centrum Badań i Rozwoju (POIR.04.01.04-00-0034/20).

Ważniejsze publikacje:

• Laura Jasińska, Krzysztof Dzbik, Damian Nowak, Krzysztof Stojek, Aleksandra Chudzyńska, Kamil Politański, Karol Malecha. Technological challenges in manufacturing of vacuum gauge thermionic cathode using thick-film technology. Materials Science-Poland. 2024, vol. 42, nr 1, s. 126-139