Prace naukowe realizowane w Katedrze Mikrosystemów zapoczątkowały rozwój nowej dziedziny nauki i techniki jaką są mikrosystemy wysokopróżniowe, czyli takie które pracują przy ciśnieniu poniżej 10^-3 hPa . Podwaliną do wszelkiej działalności w tej tematyce było opracowanie pierwszych w skali światowej miniaturowych pomp próżniowych umożliwiających wytworzenie próżni wysokiej w krzemowo-szklanych mikrosystemach MEMS (micro-electro-mechanical system). Okazuje się, że wytworzenie wysokiej próżni w urządzeniach o bardzo małej objętości jest znacznie trudniejsze niż w urządzeniach dużych rozmiarów. Przez wiele lat limitem w mikroskalowych systemach było ciśnienie na poziomie zaledwie 10^-3 hPa. Opracowane mikropompy MEMS pozwoliły obniżyć poziom ciśnienia przynajmniej o 4 rzędy wielkości. To z kolei, otworzyło drogę do prac nad miniaturyzacją urządzeń, które do poprawnej pracy wymagają tak niskiego ciśnienia. Można do nich zaliczyć mikroskopy elektronowe, źródła promieniowania rentgenowskiego, spektrometry mas, zegary atomowe i wiele innych. W większości są to instrumenty bazujące na emisji i kontroli wiązki elektronów lub jonów. Wszystkie te urządzenia, znane ze skali makro ze specjalistycznych laboratoriów, jeśli zostałyby wykonane technikami MEMS mogłyby zajmować objętość nie większą od pudełka zapałek. Prace nad wszystkimi wymienionymi instrumentami są realizowane przez członków Katedry. Niektóre z nich, jak na przykład spektrometr mas są już niemal gotowe, inne mikrosystemy wysokopróżniowe, jak źródło promieniowania rentgenowskiego MEMS, mikroskop elektronowy MEMS, są na etapie rozwojowym. Należy tu podkreślić, że wszystkie te prace są pionierskie w skali światowej, praktycznie zapoczątkowują wiele osobnych tematyk badawczych.