Kierownik laboratorium: dr hab. inż. Rafał Walczak, prof. uczelni

Wyposażone jest między innymi w linię technologiczną do wytwarzania mikrosystemów ze szkła, krzemu i polimerów, w tym:

• stanowiska do wielowarstwowego bondingu anodowego krzemu i szkła,
• stanowisko do bondingu fuzyjnego,
• stanowisko do plazmowej obróbki mikroinżynieryjnej cienkich warstw,
• stanowisko do fotolitografii,
• drukarkę 3D do prototypizacji i wytwarzania mikrostruktur,
• stanowisko chemiczne do przygotowywania i trawienia podłoży krzemowych i szklanych,
• stanowiska do testów optycznych i biochemicznych mikrosystemów analitycznych,
• stanowisko do symulacji komputerowych struktur MEMS (COMSOL).